Apreo扫描电子显微镜FEI电镜

Apreo扫描电子显微镜FEI电镜，Thermo Scientific™ Apreo SEM 具有广泛 地适用性，可以在fe时间内为材料研究人 员提供的成像质量。当Apreo的电子束打开，形貌和成分衬度可以同时被镜筒内探溉系统呈 现：无需繁琐操作，即可快速探索并获取样品各方面信息。在高放大倍率 下，Apreo的长工作距离（如10mm分析工作距离）也能表现出杰出的分 辨性能。

即使在绝缘、电子束敏感或磁性的材料上，Apreo的用户界面也可 以高效地引导操作者获得表征该纳米结构的*参数条件_。Apreo能在短 时间内解决错综复杂的研究问题，适用于需要多功能以及多用户操作的应用 场合。

Apreo扫描电子显微镜FEI电镜Apreo是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台，其创新的末 级透镜设计，丝毫不会降低对磁性样品的分辨能力。静电式末级透镜 (Apreo C和Apreo S)能够实现镜筒内多种信号的同时探测和高分辨 率，而Apreo S则结合静电、浸没式磁场的S合透镜以进一步提高低电压 下的分辨率，在1 kV加速电压下的分辨率为10 nm,不需要电子束减速。 通过将浸没式磁透镜和静电透镜组合还可以实现*的信号过滤功能。

Apreo拥有透镜内背散射探测器T1,其位置紧靠样品，确保在较短的时间 内获得大.5的采集信号。与其他背散射探测器不同，这种快速的探测器在 导航时、倾斜时或工作距离很短时能够始终保持良好的材料衬度。在表征敏 感样品时，探测器的*性能尤为突出，即使电流低至几pA,它也能提供 清晰的背散射罔像〇 Apreo S复合末级透镜通过能量过滤实现高质置的材料 衬度以及绝缘样品的无电荷成像，进一步提高了 T1 BSE探测器的使用价 值。Apreo还提供了受欢迎的选配探头来补充其探测能力，例如定向背散射 探测器(DBS)、STEM 3+和低真空气体分析探测器（GAD)。所有这些探 测器都拥有优异的软件控制分割功能，以便根据需求选择有价值的样 品信息。

主要优势

全面实现麟分難能，从纳米颗粒，粉末，雛剂和纳米器件到块状磁性样品等材料^3

有效的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度，即使 是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品 进行TV速率成像是也不例外_。

无比灵活的探测器可将各个探测器分割提供的信息相结合， i±用户能够获得至关重要的对比或信号强度。

各种各样的荷电缓解策略，包括样品仓压力大为500

Pa的彳^空模式，可实现任何样品的成像。

的分析平台提供高电子束电流，而且束斑很小。仓室

支持三个EDS探涵器、共面的EDS和EBSD以及针对 分析而优化的低真空系统。

样品处理和导航极容易，具有多用途样品支架和

Nav-Cam+₀

通过高级用户指导、预设^撤消功能为新用户提 供专家级结果，

每个Apreo都按标准配备各种用以处理绝缘样品的策略，包括：高真空技 术，例如SmartSCAN™、漂移补偿帧积分(DCFI)和电荷过滤。对于有 挑战性的应用，Apreo可提供电荷缓解策略。其中包括可选的低真空(大 为500 Pa)策略，通过经现场验证的穿镜式差分抽气机构和低真空探 淝器，不但可以缓解任何样品上的电荷，还能提供的分辨率和较大的分 析电流。

随着分析技术的使用越来越常规化，Apreo仓室经过全新设计，以便更好 地支持不同的配件和实验。仓室多容纳三个EDS/WDS端口，可实现 快速敏感的X射线测置、共面EDS/EBSD/TKD排列并与（冷冻）CL、 拉曼、EBIC和其他技术兼容。

所有这些功能都能通过简单的样品处理和熟悉的xT UI获得，节省了新用户 和专家级用户的时间。可自定义的用户界面提供了诸多用户指导、自动化和 远程操作选项。

通过所有这些优势（包括复合末级透镜、高级探测和灵活样品处理）， Apreo可提供出色的性能和多功能性，帮助您应对未来多年的硏究难题。

电子光学器件

•高分辨率场发射SEM镜筒，配有：

-高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率分析电流

-复合末级透镜：静电、无磁场和浸没磁技术结合而成的物镜*

-60°物镜几何结构：支持倾斜较大的样品

•自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔

•支持低真空*的穿镜式差分抽气结构，可减少电子束裙散效应，以 实现精准的分析和大的分辨率

•载物台偏压在-4000 V到+600 V之间的电子束减速

•持续的电子束电流控制和经过优化的孔隙角度

•双载物台扫描偏转

•轻松安装和维护的电子枪-自动烘烤、自动启动、无需机械合轴 •保证的短灯丝寿命：12 ^月

电子束参数

•电子束电流范围:1卩八-400从

•加速电压:200 V—30 kV

•羞陆能置范围：20eV-30keV

•大水平视场宽：10 mm工作距离下为3_0 mm (对应于 小放大倍率x29)。

仓室

•内宽:340 mm •分析工作臟：10 mm